Ein Überblick wird gegeben über den Entwicklungsstand und die Tendenzen bei den militärischen Anwendungen mikroelektromechanischer Systeme (MEMSs). Zur Fertigung der MEMS-Bauelemente für diese Zwecke stehen neben dem Si eine ganze Reihe anderer Werkstoffe zur Verfügung. Zu erwähnen sind hier insbesondere Kunststoffe, die für biologische und biomedizinische Messungen eingesetzt werden, wo keine großen Umgebungsanforderungen bestehen. In der Luft- und Raumfahrt hingegen müssen die MEMS-Bauelemente Temperaturen zwischen -200 Grad C und 100 Grad C sowie Stoß- und Vibrationsbeanspruchungen aushalten. Die Beanspruchungsanforderungen bei der Marine liegen im mittleren Bereich. Ein Anwendungsbeispiel eines gefertigten Bauelements ist ein ultraminiaturisierter Weltraumsatellit mit einer Größe von 1 x 3 x 4 inch3 und einem Gewicht von 250 g. Die Si-Hochfrequenzschalter besitzen eine für den Weltraum hinreichende Robustheit. Ein zweites Beispiel ist ein MEMS für eine Torpedo-Gegenwaffe, das mit den drei Steuerstufen Scharfmachung der Munition, Auslösen der Detonation und Verhinderung der Detonation zum falschen Zeitpunkt ausgestattet ist. Ein drittes Beispiel sind die Reifendrucksensoren, die in den Reifen von Tankfahrzeugen der US-Armee angebracht sind. Die Drucksensoren in den Antriebsraketen für die Schleudersitze in den F-14-Kampfflugzeugen sind ein weiteres Beispiel. Im biomedizinischen Bereich können Bioflüssigkeitssensoren in Chipform eingesetzt werden, die wie eine Armbanduhr am Handgelenk getragen werden können. Diese dienen dazu, den Gesundheitszustand der Soldaten durch Messen der Körperflüssigkeiten zu überwachen. In der Entwicklung ist die Integration eines Diagnosesystems und eines Behandlungsprogramms auf einem Chip. In der Planung ist ein Echtzeitzugang des Truppenbefehlshabers zu diesen Daten, so daß dieser über die aktuelle Einsatzbereitschaft seiner Truppe informiert ist.
Defense applications of MEMS
Verteidigungsanwendungen mikroelektromechanischer Systeme
MRS Bulletin ; 26 , 4 ; 318-319
2001
2 Seiten, 1 Bild
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
militärische Logistik , Militärflugzeug , Anwendung in der Wehrtechnik , Militärfahrzeug , mikroelektromechanisches System , Silicium , Kunststoff , Biologie , medizinische Technik , Raumfahrt , Luftfahrt , Marine , Weltraum , Satellit , Schalter , Stabilität , Fernlenkwaffe , Sprengkapsel , Drucksensor , Tankfahrzeug , Schleudersitz , Chip , Strömungssensor , Echtzeitbetrieb
Aerospace applications of MEMS
SPIE | 2005
|Introduction - MEMS Aerospace Applications
NTIS | 2004
|Tema Archiv | 1999
|MEMS for automotive applications
Tema Archiv | 2004
|Applications of MEMS Technology
British Library Conference Proceedings | 2004
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