Es wird eine technologie beschrieben, die in tantal-duennschichttechnik widerstandsnetzwerke hoher genauigkeit und mit wesentlich verkleinerten abmessungen herzustellen gestattet. Diese widerstandsnetzwerke koennen mit halbleiterelementen zusammen in flachpackungen zu modulbloecken vergossen werden. Genaue herstell-, pruef- und abgleichvorschriften fuer die erzeugung solcher netzwerke in tantal-duennschichttechnik fuer raumfahrtzwecke sind angegeben. Eine vorrichtung fuer einzelabgleich bis 0,1% genauigkeit sowie der zusammenbau der glassubstrate zu modulartigen bloecken werden beschrieben.
Tantal-duennschichtkreise fuer raumfluganwendung
1970
77 Seiten, 21 Bilder, 1 Tabelle, 11 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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