Das Reflexionsvermoegen erreicht bei Schutzschichtdicken von 100 mikrom bereits ein Minimum. Es wird daher eine Schichtdicke der aufgedampften Quarzschicht von 30 bis 40 nm angestrebt. Das hierfuer geeignete ellipsometrische Verfahren wurde so modifiziert, dass die Schutzschichtdicken von 0 bis 50 nm auf Scheinwerferparaboloiden innerhalb weniger Sekunden auf etwa ein nm genau zerstoerungsfrei gemessen werden koennen. Es werden dabei Laser-Strahlen verwendet. Das Messprinzip und das Schema des Geraetes werden an Hand von Schemazeichnungen erlaeutert. (Jensen)
Messungen der Dicke aufgedampfter Korrosionsschutzschichten auf Spiegeln fuer Scheinwerfer von Kraftfahrzeugen
Vakuum Technik ; 26 , 1 ; 9-12
1977
4 Seiten, 7 Bilder, 7 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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