Die Firma Kollsman entwickelt zur Zeit mit Foerderung des Bundesministeriums fuer Forschung und Technologie der Bundesrepublik Deutschland einen hochgenauen Drucksensor der Klasse 0,05 % Gesamtgenauigkeit. Der Sensor soll bezueglich Genauigkeit, Langzeitstabilitaet und Umweltvertraeglichkeit die Forderungen der Luftfahrt erfuellen. Das druckempfindliche Element besteht bei diesem Sensor aus Quarz, um eine sehr gute Langzeitstabilitaet zu gewaehrleisten. Der Quarz wird dabei unter Ausnuetzung des piezoelektrischen Effekts zu Schwingungen angeregt. Dabei werden bei dem entwickelten Sensor Oberflaechen-Wellen angeregt. Diese breiten sich (in Analogie zu Wasserwellen an der Wasseroberflaeche) entlang der Quarz-Vakuum-Oberflaeche aus, mit der Tiefe des Substrates ist die Amplitude exponentiell gedaempft.
Neuer hochgenauer Quarz-Drucksensor fuer Luftfahrtanwendungen
New precision quartz pressure sensor for aviation
1983
7 Seiten, 6 Bilder
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
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