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    Titel :

    Improving piezo actuators for nanopositioning tasks


    Beteiligte:
    Seeliger, Martin (Autor:in) / Gramov, Vassil (Autor:in) / Götz, Bernt (Autor:in)

    Kongress:

    Laser-based Micro- and Nanoprocessing XII ; 2018 ; San Francisco,California,United States


    Erschienen in:

    Proc. SPIE ; 10520


    Erscheinungsdatum :

    2018-02-19





    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



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    Piezo-Electric Linear Actuators in Vacuum

    Buttery, M. / Watters, R. / Roberts, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2007


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    Vasiljev, A. P. / Struckas, B. A. | TIBKAT | 2013

    Freier Zugriff

    Piezo actuators move in the nanometer regime

    Spanner, K. / Wolny, W. W. / Lula, B. | British Library Online Contents | 1996