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    Titel :

    Silicon Alignment Pins: An Easy Way to Realize a Wafer-to-Wafer Alignment


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2013



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    BKL:    55.60 Raumfahrttechnik / 55.60 / 50.00 / 50.00 Technik allgemein: Allgemeines



    Alignment technique using wafer rear surface

    Katagiri, Souichi / Moriyama, Shigeo / Terasawa, Tsuneo | SPIE | 1992


    Overlay system measures wafer-alignment errors

    British Library Online Contents | 1996


    WHEEL ASSEMBLY WITH ALIGNMENT PINS

    HERRMANN NATHANIEL JOHN / CAMPBELL STEVEN C | Europäisches Patentamt | 2019

    Freier Zugriff

    WHEEL ASSEMBLY WITH ALIGNMENT PINS

    HERRMANN NATHANIEL JOHN / CAMPBELL STEVEN C | Europäisches Patentamt | 2020

    Freier Zugriff

    Machine Vision Techniques for Semiconductor Wafer Alignment

    Chang, N. S. | British Library Online Contents | 1990