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    Titel :

    Formation of highly aluminum-doped p-type silicon regions by in-line high-rate evaporation



    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2011



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    50.70 Energie: Allgemeines / 52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 52.52 Thermische Energieerzeugung, Wärmetechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher







    Evaporation Rate of Silicon Carbide in Reducing Gases

    Mendybaev, R. A. / Beckett, J. R. / Grossman, L. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995