Fluidized-bed pyrolysis reactor produces high-purity polycrystalline silicon from silane or halosilane via efficient heterogeneous deposition of silicon on silicon seed particles. Formation of silicon dust via homogeneous decomposition of silane minimized, and deposition of silicon on wall of reactor effectively eliminated. Silicon used to construct solar cells and other semiconductor products.


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    Titel :

    Fluidized-Bed Silane-Decomposition Reactor


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1991-11-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



    Cleaning The Walls of A Silane Reactor

    Yamakawa, K. A. | NTRS | 1985


    Fluidized-Bed Reactor System

    Morrison, A. D. | NTRS | 1985


    Fluidized-Bed Reactor With Zone Heating

    Iya, Sridhar K. | NTRS | 1989