Mikroskopische Messverfahren eignen sich zur zerstörungsfreien Prüfung und Messung dünner Schichten, wie z.B. Oberflächenbeschichtungen in der Mikrosystemtechnik. Normale Ultraschallsensoren besitzen aufgrund Größe und Signalwellenlänge eine zu geringe Ortsauflösung und sind somit nicht geeignet für die Erfassung von Mikrostrukturen. Die Messaufgaben und die daraus resultierenden Anforderungen an die Ultraschallmikroskopie werden erläutert und die Entwicklung entsprechender Messgerätetechnik und Verfahren beschrieben. Die Daten durchgeführter Probemessreihen wurden ausgewertet und hierbei mehrere Datenverarbeitungsverfahren getestet. Auf die Empfindlichkeit des Messverfahrens gegenüber verschiedener Störgrößen sowie die Robustheit in Bezug auf einen speziell untersuchten Einsatzbereich der Ermittlung der Haftfestigkeit von Oberflächenbeschichtungen wird eingegangen.
Messstrategien für die zerstörungsfreie Schichtmessung mittels Ultraschallmikroskopie
Strategies for the non-destructive characterization of thin layers with scanning acoustic microscopy
tm - Technisches Messen ; 74 , 6 ; 365-373
2007-01-01
9 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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