Für den Einsatz in der Fertigungstechnik und Forschung werden Positioniersysteme benötigt, welche nanometergenau die Wege- und Winkelmessung sowie die Positionierung auch über große Bewegungsbereiche gewährleisten. Dazu wurden die Einfluss- und Störgrößen der Antriebs- und Führungselemente einiger Positioniereinrichtungen untersucht und Maßnahmen zur Abwendung von Störeinflüssen auf den Messvorgang entwickelt. An konkreten Beispielen eines Mehrkoordinatenantriebs sowie eines linearen Positioniersystems für einen Verfahrbereich von 200 mm wurden die Vorgehensweise und die ermittelten Verbesserungspotenziale erläutert. Ein speziell entwickelter Versuchsaufbau ermöglicht die Ermittlung des Einflusses verschiedener Störquellen in- und außerhalb des Messsystems und kann als Basis für die Weiterentwicklung von Komponenten entsprechender linearer Positioniersysteme dienen.
Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche
Nanopositioning over large travel range
tm - Technisches Messen ; 73 , 9 ; 493-499
2006-01-01
7 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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