Für die berührungslose, zerstörungsfreie Charakterisierung der Beschaffenheit anwendungs- und fertigungsrelevanter Oberflächen kann optische Nanotechnologie eingesetzt werden. In einem Projekt des Fraunhofer-Institus für Angewandte Optik wird die Anwendung des Streulichtmessverfahrens zur Bestimmung der Oberflächenrauheit im Nanobereich untersucht. Unter Laborbedingungen wurden bereits sehr genaue und robuste Messverfahren entwickelt. Um die gewonnenen Messinformationen auch der eindeutigen, anschaulichen, leicht zu erfassenden Auswertung und Nutzung im Produktionsumfeld zugänglich machen zu können bedarf es noch einiger Forschungen zur Entwicklung erforderlicher industrieller Messtechnik. Die dabei im Projekt zu lösenden Aufgabenstellungen werden im Beitrag erläutert
Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessung
Nano-roughness assessment by light scattering measurement
tm - Technisches Messen ; 73 , 1 ; 35-42
2006-01-01
8 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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