Es werden gänzlich in Siliziumtechnologie ausgeführte Sensoren zur Abstandsmessung vorgestellt. Sie bestehen aus Photodiode und Auswerteschaltung auf einem Chip und funktionieren nach dem Prinzip der Laufzeitmessung reflektierten Laserlichts. Aufgrund der geringen Signalstärke werden optoelektronische Korrelationsfunktionen eines Doppel-Anoden-Detektors zur Messung verwendet. Die einmalig notwendige Kalibrierung des Sensors erfolgt durch Bestimmung eines absoluten Phasenwertes für einen bestimmten Abstand und dessen Speicherung im Chip. Danach sind absolute Entfernungsmessungen mit dem Sensor möglich. Auf Grundlage der guten Messergebnisse der realisierten Ein-Pixel-Sensorlösung können Multipixelsensoren zur 3D-Erfassung in Industrie und Sicherheitstechnik entwickelt werden.
Monolithische Korrelationsempfänger für optische Abstandsmessung
tm - Technisches Messen ; 72 , 4 ; 230-235
01.01.2005
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Sensor , Meßtechnik , Physik , Mikroprozessor , Detektor , Optoelektronik , Abstand , Zeit-Weg-Linie
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