Optische 3D-Sensoren bieten gegenüber den zurzeit gebräuchlichen mechanisch tastenden Sensoren Vorteile wie zerstörungsfreie Messung und höhere Datenrate. Das Kohärenzradar ist ein hochgenauer optischer Sensor, der auch die Vermessung optisch rauer Oberflächen mit einer Messunsicherheit im µm-Bereich ermöglicht. Es zeigt sich für viele industrielle Messaufgaben als geeignetes Messsystem, insbesondere an optisch rauen Oberflächen. Diese konnten bisher nicht oder nur mit sehr hohem Aufwand vermessen werden. Für einen fertigungsnahen Einsatz ist - anwendungsunabhängig - die Messgeschwindigkeit noch zu gering. Daher bietet sich das Kohärenzradar vor allem zur hochgenauen Objektvermessung im Off-Line-Einsatz an. Neue Erkenntnisse in der Signalauswertung gestatten es unter anderem, Rauheitsparameter sowohl auf optisch glatten als auch auf optisch rauen Oberflächen zu bestimmen. Zahlreiche Messbeispiele sowie das Messsystem ORION - Fast Optical Profiler von der Firma UBM verdeutlichen die breite Anwendbarkeit.
Kohärenzradar - ein 3D-Sensor im Genauigkeitsbereich von 1µm
tm - Technisches Messen ; 67 , 2 ; 52-57
2000-01-01
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Sensor , Meßtechnik , Oberfläche , Radar , Optik , Meßgenauigkeit , Optische Eigenschaft , Vermessung
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Europäisches Patentamt | 2022
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