In order to obtain resolution higher than Rayleigh's limit of resolution /spl epsi//sub R/, we use Gaussian pupil which gives the diffraction intensity distribution with resolution /spl epsi//sub G/


    Zugriff

    Zugriff prüfen

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Resolving power of the Gaussian pupil optical lithography system beyond Rayleigh's limit of resolution


    Beteiligte:
    Young Ran Song, (Autor:in) / Sang Soo Lee, (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    1999-01-01


    Format / Umfang :

    84215 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Wood visits Rayleigh's lab

    Howard, J.N. | British Library Online Contents | 2010


    Nonlinear, rarefied Rayleigh's problem.

    HARTLEY, D. L. / HUANG, A. B. | AIAA | 1968