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    Titel :

    AlGaAs Photonic Integrated Circuits Fabricated Using Chemically Assisted Ion Beam Etching


    Beteiligte:
    Grande, W.J. (Autor:in) / Johnson, J.E. (Autor:in) / Tang, C.L. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1990


    Format / Umfang :

    59839 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Etched Facet Semiconductor Resonators Fabricated by Reactive Ion Beam Etching for Micro-Photonic Integrated Circuits

    IEEE / Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1995



    GaAs/AlGaAs photonic integrated circuits fabricated using impurity-free vacancy disordering (Invited Paper) [2401-27]

    Marsh, J. H. / Cusumano, P. / Bryce, A. C. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Precise nonselective chemically assisted ion-beam etching of AlGaAs/GaAs Bragg reflectors by in situ laser reflectometry

    Yoo, J. Y. / Shin, J. H. / Lee, Y. H. et al. | British Library Online Contents | 1995


    Chemically Assisted Ion Beam Etching of Optical Microresonators

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1997