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    Titel :

    Applications Of Optical Scatterometry To Microelectronics. Materials Processing


    Beteiligte:
    McNeil, J.R. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1990


    Format / Umfang :

    64354 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Scatterometry

    Pereira, Silvania | TIB AV-Portal | 2015

    Freier Zugriff



    Laser materials processing : industrial and microelectronics applications : 5-8 April 1994, Vienna, Austria

    Europäische Gemeinschaften, Generaldirektion Wissenschaft, Forschung und Entwicklung / Conference on Production Line Processes / Conference on Process Control and Modeling et al. | TIBKAT | 1994