In this paper we report the demonstration of vertically coupled microdisk resonator structures on SOI substrates, using the technique of SIMOX 3-D sculpting.


    Zugriff

    Zugriff prüfen

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    SIMOX 3-D sculpting of vertically-coupled microresonators in silicon


    Beteiligte:
    Koonath, P. (Autor:in) / Indukuri, T. (Autor:in) / Jalali, B. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2004-01-01


    Format / Umfang :

    291986 byte





    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




    SIMOX sculpting of 3-D nano-optical structures

    Koonath, P. / Kishima, K. / Indukuri, T. et al. | IEEE | 2003


    SIMOX Sculpting of 3-D Nano-optical Structures

    IEEE | British Library Conference Proceedings | 2003


    High-Q vertically-coupled microresonators built by wafer-bonding technique

    Djordjev, K. / Seung June Choi, / Sang Jun Choi, et al. | IEEE | 2001