A linear electrical machine comprising a frame with a level reference plane and an array of electromagnets, connected to the frame to form a drive plane at a predetermined height relative to the reference plane. The array of electromagnets being arranged so that a series of electromagnets of the array of electromagnets define at least one drive line within the drive plane, and each of the electromagnets being coupled to an alternating current power source energizing each electromagnet. At least one reaction platen of paramagnetic, diamagnetic, or non-magnetic conductive material disposed to cooperate with the electromagnets of the array of electromagnets so that excitation of the electromagnets with alternating current generates levitation and propulsion forces against the reaction platen that controllably levitate and propel the reaction platen along at least one drive line, in a controlled attitude relative to the drive plane.
Selon l'invention, une machine électrique linéaire comprend un châssis ayant un plan de référence de niveau et un ensemble d'électroaimants, relié au châssis pour former un plan d'entraînement à une hauteur prédéterminée par rapport au plan de référence. L'ensemble d'électroaimants est agencé de sorte qu'une série d'électroaimants de l'ensemble d'électroaimants définisse au moins une ligne d'entraînement dans le plan d'entraînement, et chacun des électroaimants étant couplé à une source d'alimentation en courant alternatif excitant chaque électroaimant. Au moins un plateau de réaction en matériau paramagnétique, diamagnétique, ou conducteur non magnétique est disposé pour coopérer avec les électroaimants de l'ensemble d'électroaimants de sorte que l'excitation des électroaimants avec un courant alternatif produise des forces de lévitation et de propulsion contre le plateau de réaction qui font léviter et propulsent de manière contrôlable le plateau de réaction le long d'au moins une ligne d'entraînement, avec une attitude contrôlée par rapport au plan d'entraînement.
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
26.08.2021
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
IPC: | B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / H02K Dynamoelektrische Maschinen , DYNAMO-ELECTRIC MACHINES / H02N Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen , ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen |
Substrate processing apparatus, substrate processing method and non-transitory storage medium
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