A substrate transport apparatus having a drive section and a scara arm operably connected to the drive section to move the scara arm. The scara arm has an upper arm and at least one forearm. The forearm is movably mounted to the upper arm and capable of holding a substrate thereon. The upper arm is substantially rigid and is adjustable for changing a predetermined dimension of the upper arm.


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    Titel :

    Dual scara arm


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    2021-01-26


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B25J Manipulatoren , MANIPULATORS / B66C Krane , CRANES



    Dual scara arm

    PIETRANTONIO ANTONIO F / CHESNA ANTHONY / ELMALI HAKAN et al. | Europäisches Patentamt | 2015

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    DUAL SCARA ARM

    PIETRANTONIO ANTONIO F / CHESNA ANTHONY / ELMALI HAKAN et al. | Europäisches Patentamt | 2021

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    DUAL SCARA ARM

    PIETRANTONIO ANTONIO F / CHESNA ANTHONY / ELMALI HAKAN et al. | Europäisches Patentamt | 2019

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    DUAL SCARA ARM

    PIETRANTONIO ANTONIO F / CHESNA ANTHONY / ELMALI HAKAN et al. | Europäisches Patentamt | 2016

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    Dual scara arm

    PIETRANTONIO ANTONIO F / CHESNA ANTHONY / ELMALI HAKAN et al. | Europäisches Patentamt | 2018

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