According to the present invention, provided is a device for transporting consumables for transporting consumables supplied to a semiconductor manufacturing apparatus. The device includes a consumables accommodating unit for accommodating consumables, a consumables identification unit for identifying information on consumables accommodated in the consumables accommodating unit; and a device identification unit for identifying information on a nearby semiconductor manufacturing apparatus according to the movement of the transfer device. The consumable accommodating unit, based on the information identified by the consumables identification unit and the information identified by the device identification unit, the consumables are accommodated in any one of a first holding state which permits discharging of the accommodated consumables, and a second holding state which induces not to take out the accommodated consumables.

    본 발명에 따른 소모품의 이송장치는 반도체 제조 장치에 공급되는 소모품을 이송하기 위한 것으로, 소모품을 수용하는 소모품 수용부; 상기 소모품 수용부에 수용되는 소모품에 대한 정보를 식별하는 소모품 식별부; 및 상기 이송장치의 이동에 따라 근접한 반도체 제조 장치에 대한 정보를 식별하는 장치 식별부를 포함하며, 상기 소모품 수용부는, 상기 소모품 식별부에서 식별한 정보 및 상기 장치 식별부에서 식별한 정보에 기초하여, 상기 수용된 소모품을 반출하는 것을 허용하는 제 1 홀딩 상태, 또는, 상기 수용된 소모품을 반출하지 않도록 유도하는 제 2 홀딩 상태 중 어느 하나의 상태로 상기 소모품을 수용한다.


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    Titel :

    APPARATUS SYSTEM AND SERVER FOR TRANSPORTING CONSUMABLES SUPPLIED FOR SEMICONDUCTER MANUFACTURING EQUIPMENT


    Weitere Titelangaben:

    반도체 제조 장치에 공급되는 소모품의 이송장치, 시스템 및 서버


    Beteiligte:
    PARK JAEYOUNG (Autor:in) / MOON HWISUK (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    2021-05-11


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Koreanisch


    Klassifikation :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B62B Von Hand bewegte Fahrzeuge, z.B. Handkarren oder Kinderwagen , HAND-PROPELLED VEHICLES, e.g. HAND CARTS OR PERAMBULATORS