개폐식의 상부챔버와 하부챔버로 구성된 진공챔버의 폐쇄시 실링을 유지하기 위한 실링유닛으로서, 상부챔버 또는 하부챔버 중 일측 챔버의 개방된 단부 테두리를 따라 형성된 삽입홈; 하단부가 삽입홈에 삽입되고 상단부가 상방으로 노출되며, 상단부는 마주보는 타측 챔버의 개방된 단부 테두리에 접함으로써 진공챔버의 폐쇄시 실링을 유지하고, 상단부에는 내측테두리를 따라 내측돌기부가 돌출되고 외측테두리를 따라 외측돌기부가 돌출되며 내측돌기부와 외측돌기부는 상호 이격되어 이격공간을 형성하는 실링부재; 및 일측 챔버의 삽입홈 바닥면에 마련되며 실링부재를 관통하여 이격공간과 연통된 진공라인;을 포함하는 진공챔버의 실링 유닛이 소개된다.
SEALING UNIT FOR EVACUATED CHAMBER
진공챔버의 실링 유닛
2017-07-04
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch