The present invention relates to a cart for carrying a chemical substance container and, more specifically, to a cart for providing the information of chemical substances and the position information of a chemical substance container for users when carrying the chemical substance container supplied to form a wafer pattern in a semiconductor process. To this end, the cart for carrying a chemical substance container where a first identification tag is attached according to the present invention comprises: a first reader which is installed in each holder where the chemical substance container is positioned and recognizes the first identification tag attached to the chemical substance container; a second reader which recognizes a second identification tag attached to manufacturing equipment of performing a manufacturing process by using the chemical substance container; and a terminal device which receives the information of chemical substances and the position information of the chemical substance container from the first reader by being connected with the first and second readers through a local communication and receives information of the manufacturing equipment from the second reader. The terminal device: displays the information of chemical substances and the position information of the chemical substance container on the screen; receives the usage information of chemical substances of the manufacturing equipment from a management server after transmitting information of the manufacturing equipment to the management server; and enables chemical substances capable of being used in the corresponding manufacturing equipment to be visually recognized on a screen where the information of the chemical substances and the position information of the chemical substance container are displayed.
본 발명은 화학물질 용기를 운반하는 카트에 관한 것으로서, 상세하게는 반도체 공정에서 웨이퍼 패턴 형성을 위해 공급되는 화학물질 용기를 운반할 때에 사용자에게 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 제공하는 카트에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트는 상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하는 제1 리더기와, 상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하는 제2 리더기와, 상기 제1 리더기 및 제2 리더기와 근거리 통신을 통해 연결되어 상기 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 수신하고, 상기 제2 리더기로부터 제조장비에 대한 정보를 수신하는 단말장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 단말장치는 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 화면에 표시하며, 상기 제조장비에 대한 정보를 관리 서버로 전송한 후 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 표시된 화면에서 시각적으로 인식되도록 하는 것을 특징으로 한다.
Cart Carrying Chemical Bottles
화학물질 용기를 운반하는 카트
2016-11-23
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch