A transfer apparatus, according to an embodiment of the present invention, comprises: a body part which receives an object to be transferred; multiple guiderails which are arranged to be adjacent to both surfaces of the body in a first direction, are vertically extended to be fixed to the outside, and are arranged in parallel; multiple roller parts which are arranged on both surfaces of the body part in the first direction and come in contact with the guiderails to be moved along the guiderails; and sensing parts which are arranged on both surfaces of the body part, wherein each of the sensing parts measures the distance between the guiderails corresponding to the sensing parts, respectively.
본 발명의 실시 예에 따른 이송 장치는 이송 대상을 수용하는 몸체부, 제1 방향에서 상기 몸체부의 양 측면과 각각 인접하도록 배치되고, 상하 방향으로 연장되어 외부와 고정되고, 서로 평행하게 배치되는 복수의 가이드 레일들, 상기 제1 방향에서 상기 몸체부의 양 측면에 배치되고, 상기 가이드 레일들에 접촉되어 상기 가이드 레일들을 따라 이동되는 복수의 롤러부들 및 상기 몸체부의 양 측면에 배치되는 복수의 센싱부들을 포함하고, 상기 센싱부들 각각은 상기 센싱부와 상기 센싱부가 대응하는 상기 가이드 레일 사이의 이격 거리를 측정한다.
TRANSFERRING APPARATUS
이송 장치
2016-11-17
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFERRING METHOD
Europäisches Patentamt | 2024
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