본 기술은 오버헤드 호이스트 이송 시스템에 관한 것으로, 베이스 플레이트에 고정되어 하방으로 돌출된 적어도 하나 이상의 자기모듈을 구비하는 체결부를 포함하는 운송수단; 상기 자기모듈에 대응하도록 형성된 체결부재를 구비하는 헤더부를 포함하는 웨이퍼 박스; 및 상기 체결부와 상기 웨이퍼 박스 사이의 탈부착을 제어하는 제어신호를 생성하는 제어부를 포함하고, 상기 자기모듈은 링타입의 단면형상을 갖는 프레임, 상기 프레임 내에 고정 설치된 제1영구자석, 상기 프레임 내에 회전 가능하도록 설치된 제2영구자석 및 상기 제어신호에 응답하여 상기 제2영구자석을 회전시키는 자기스위치를 포함할 수 있다.
An overhead hoist transport system includes a vehicle, a wafer box and a controller. The vehicle includes a combiner. The combiner includes at least one magnetic module. The magnetic module is fixed to a base plate. The magnetic module is downwardly protruded. The wafer box includes a header. The header includes a combining member configured to correspond to the magnetic module. The controller is configured to generate a control signal for controlling attachment and detachment operations between the combiner and the wafer box. The magnetic module includes a frame, a first permanent magnet, a second permanent magnet and a magnetic switch. The frame has an annular cross-sectional shape. The first permanent magnet is fixed to the frame. The second permanent magnet is rotatably arranged in the frame. The magnetic switch is configured to rotate the second magnet in response to the control signal.
OVERHEAD HOIST TRANSPORT SYSTEM
오버헤드 호이스트 이송 시스템
14.01.2025
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch