본 발명은 무인 비행체를 이용한 웨이퍼 이송 시스템에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 이송 시스템은, 이송 대상물을 거치하는 거치대를 구비하는 웨이퍼 공정 설비; 상기 웨이퍼 공정 설비의 거치대로 공급하거나 상기 웨이퍼 공정 설비의 거치대로부터 수거된 이송 대상물을 적재하는 적재부; 상기 공정 설비의 거치대 또는 적재부에 거치된 이송 대상물의 위치를 파악하고, 파악된 위치에 따라 자신의 위치를 정렬시키고, 이송 대상물의 상부 표면으로 이동하여 이송 대상물을 파지한 후 비행하여 적재부 또는 공정 설비의 거치대로 이송 대상물을 이송하는 무인 비행체;를 구비하고, 상기 이송 대상물은 웨이퍼 또는 웨이퍼 캐리어 중 하나이다

    The present invention relates to a wafer transfer system using an unmanned air vehicle which can not only be easy for installation, but also reduce costs. The wafer transfer system using an unmanned air vehicle comprises: a wafer processing facility having a cradle mounting a transfer object; a loading unit loading the transfer object which is supplied to the cradle of the wafer processing facility or is collected from the cradle of the wafer processing facility; and an unmanned air vehicle grasping a location of the transfer object mounted on the cradle of the processing facility or the loading unit, arranging a location of the unmanned air vehicle in accordance with the grasped location, and transferring the transfer object to the loading unit or the cradle of the processing facility by flying after grasping the transfer object while being moved to an upper surface of the transfer object. The transfer object is one of a wafer or a wafer carrier.


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    Titel :

    Wafer transfer system by using a drone


    Weitere Titelangaben:

    무인 비행체를 이용한 웨이퍼 이송 시스템


    Erscheinungsdatum :

    24.08.2023


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Koreanisch


    Klassifikation :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B64C AEROPLANES , Flugzeuge / B64D Ausrüstung für Flugzeuge , EQUIPMENT FOR FITTING IN OR TO AIRCRAFT



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