To suppress precipitation of a freezing preventive agent in an exhaust passage.SOLUTION: A vacuum pump 2 includes a pump chamber 3, and an exhaust passage 6 which includes an exhaust port 5 opened to the atmosphere and guides gas from the pump chamber 3 to the exhaust port 5. A wall surface 20 forming the exhaust passage 6 includes a first area 21, and a second area 23 positioned in a downstream side of the first area 21 in the exhaust passage 6 and having higher water-repellency than the first area 21.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】排気通路における凍結防止剤の析出を抑制する。【解決手段】バキュームポンプ2は、ポンプ室3と、大気開放された排気口5を含み、ポンプ室3から排気口5に気体を導く排気通路6と、を備え、排気通路6を形成する壁面20は、第1領域21と、第1領域21よりも排気通路6における下流側に位置し、第1領域21よりも撥水性が高い第2領域23と、を含む。【選択図】 図2
VACUUM PUMP
バキュームポンプ
2022-03-24
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch