PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a processing apparatus capable of efficiently introducing a fluid into an internal space of a member to process it while maintaining airtightness in the internal space of the member.SOLUTION: A pallet (20) comprises a pallet base (21), member connection openings (221 and 231), pipeline connection openings (261 and 271) and communication passages (201 and 202). The member connection openings (221 and 231) are arranged on one side of the pallet base (21) and can be communicated to an internal space (91) of a member (90). The pipeline connection openings (261 and 271) are arranged to the other side of the pallet base (21) and can be communicated to connection passages (421 and 431) formed in the inside of connected pipelines (42 and 43). The communication passages (201 and 202) communicate the member connection openings (221 and 231) to the pipeline connection openings (261 and 271).SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】部材の内部空間の気密を保ちつつ、効率的に部材の内部空間に流体を導入して処理することが可能な処理装置を提供する。【解決手段】パレット(20)は、パレットベース(21)と、部材接続用開口(221,231)と、配管接続用開口(261,271)と、連通路(201,202)と、を備える。部材接続用開口(221,231)は、パレットベース(21)の一方側に配され、部材(90)の内部空間(91)に連通可能である。配管接続用開口(261,271)は、パレットベース(21)の他方側に配され、接続される配管(42,43)の内部に形成される接続通路(421,431)に連通可能である。連通路(201,202)は、部材接続用開口(221,231)と配管接続用開口(261,271)とを連通する。【選択図】図2
PALLET AND PROCESSING APPARATUS
パレット及び処理装置
2018-05-10
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch