Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines folienbasierten Drucksensors (1). Um das genaue Einstellen des Einschaltpunktes einer Sensorzelle in einem folienbasierten Drucksensor zu erleichtern, sieht die Erfindung vor, dass das Verfahren Folgendes umfasst: Bereitstellen eines unteren Elements (2) mit einer unteren Folie (3) und mindestens einer unteren Elektrode (4, 6, 8), die auf der unteren Folie (3) angeordnet ist, Bereitstellen von mehreren oberen Elementen (20), wobei jedes obere Element (20) eine obere Folie (21) mit mindestens einer oberen Elektrode (22) umfasst, die unter der oberen Folie (21) angeordnet ist, wobei ein kombinierter Bereich der oberen Elemente (20) kleiner ist als ein Bereich des unteren Elements (2), individuelles Positionieren und zumindest indirektes Verbinden der oberen Elemente (20) mit dem unteren Element (2), so dass mindestens eine obere Elektrode (22) von jedem oberen Element (20) über mindestens einer unteren Elektrode (4, 6, 8) des unteren Elements (2) angeordnet wird, um eine Sensorzelle (30) zu bilden, die dazu geeignet ist, aktiviert zu werden, wenn ein Druck (pext) auf die Sensorzelle (30) einen Einschaltpunkt überschreitet, wobei der Einschaltpunkt für mindestens eine Sensorzelle (30) durch Auswählen einer Position (A1, A2, B1, B2) eines oberen Elements (20) aus mehreren Positionen (A1, A2, B1, B2), in der die Sensorzelle (30) arbeitet, die sich jedoch in ihrem Einschaltpunkt unterscheiden, eingestellt wird.

    A method for producing a foil-based pressure sensor includes the steps of: providing a bottom element with a bottom foil and at least one bottom electrode disposed on the bottom foil; providing a plurality of top elements, each top element having a top foil with at least one top electrode disposed under the top foil, a combined area of the top elements being smaller than an area of the bottom element; and individually positioning and at least indirectly connecting the top elements to the bottom element so that at least one top electrode of each top element is disposed over at least one bottom electrode of the bottom element to form a sensor cell that is adapted to be activated when a pressure on the sensor cell exceeds a turn-on point. The turn-on point is adjusted by selecting a position of a top element from a plurality of positions.


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    Titel :

    Verfahren zur Herstellung eines folienbasierten Drucksensors


    Beteiligte:
    SCHULER STEFFEN (Autor:in) / GÖDERT GÜNTER (Autor:in) / MASSING MATTHIAS (Autor:in) / BENNES RAPHAËL (Autor:in) / SCHMITZ KLAUS-PETER (Autor:in) / SCHON HARALD (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    2021-08-12


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Deutsch


    Klassifikation :

    IPC:    G01L Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden , MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE / B60N SEATS SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLES , Sitze besonders für Fahrzeuge ausgebildet / B60R Fahrzeuge, Fahrzeugausstattung oder Fahrzeugteile, soweit nicht anderweitig vorgesehen , VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / H03K PULSE TECHNIQUE , Impulstechnik



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