Vakuumventilsystem (10) aufweisend eine Ventilsitzanordnung, die eine Ventilöffnung, einen die Ventilöffnung umlaufenden ersten Ventilsitz und einen die Ventilöffnung umlaufenden zweiten Ventilsitz aufweist, eine Verschlusskomponente (20) zum im Wesentlichen gasdichten Verschliessen der Ventilöffnung mit einer ersten Dichtfläche und einer zweiten Dichtfläche, und eine Antriebseinheit zur Bereitstellung einer Bewegung der Verschlusskomponente (20) relativ zur Ventilsitzanordnung derart, dass die Verschlusskomponente (20) von einer Offenposition in Schliessrichtung in eine Schliessposition und zurück verstellbar ist. Die Verschlusskomponente (20) hat eine erste Verschlussseite (24) mit der ersten Dichtfläche und eine zweite Verschlussseite (25) mit der zweiten Dichtfläche. Die Verschlusskomponente (20) weist einen Verschlusskörper (23) auf, der zwischen der ersten und der zweiten Verschlussseite (24,25) angeordnet ist und diese verbindet. Der Verschlusskörper (23) und die Verschlussseiten (24,25) sind derart ausgebildet, dass die Verschlusskomponente (20) zumindest eine zum Rand der Verschlusskomponente (20) hin geöffnete erste Aussparung aufweist und eine Öffnung der zumindest ersten Aussparung in die Schliessrichtung weist.
A vacuum valve system (10) is proposed, comprising a valve seat arrangement which has a valve opening, a first valve seat encircling the valve opening and a second valve seat encircling the valve opening, comprising a closure component (20), which has a first sealing surface and a second sealing surface, for substantially gas-tightly closing the valve opening, and comprising a drive unit for moving the closure component (20) relative to the valve seat arrangement such that the closure component (20) is adjustable in a closing direction from an open position into a closed position and vice versa. The closure component (20) has a first closure side (24), which has the first sealing surface, and a second closure side (25), which has the second sealing surface. The closure component (20) has a closure element (23) which is arranged between, and connects, the first and the second closure side (24, 25). The closure element (23) and closure sides (24, 25) are configured such that the closure component (20) has at least one first recess that is open towards the edge of the closure component (20), and an opening of the at least first recess points in the closing direction.
Vakuumventilsystem für ein Vakuum-Transportsystem
2023-08-10
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
MODULARES VAKUUMVENTILSYSTEM FÜR EIN VAKUUM-TRANSPORTSYSTEM
Europäisches Patentamt | 2022
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