Vakuumventil (10) zum im Wesentlichen gasdichten Verschliessen einer ersten Ventilöffnung (31), aufweisend einen Ventilsitz (30), ein Verschlusselement (20) zum im Wesentlichen gasdichten Verschliessen der ersten Ventilöffnung (31) und eine Antriebseinheit (40) zur Bereitstellung einer Bewegung des Verschlusselements (20,120) relativ zum Ventilsitz (30,130). Das Verschlusselement (20) ist derart flexibel ausgebildet, dass eine räumliche Ausdehnung des Verschlusselements (20) in der Schliessposition in eine Richtung parallel zur Öffnungsachse (A) in Abhängigkeit eines anliegenden Differenzdrucks variabel ist.
The invention relates to a vacuum valve for substantially gas-tight closure of a first valve opening including a valve seat, a closure element for substantially gas-tight closure of the first valve opening, and a drive unit for providing a movement of the closure element relative to the valve seat. The closure element is designed to be flexible in such a way that a spatial expansion of the closure element in the closed position is variable in a direction parallel to the opening axis as a function of an applied differential pressure.
Vakuumventil für ein Vakuum-Transportsystem
2022-06-09
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch