Offenbart ist ein Sensor zum Messen einer Konzentration eines Analysefluids basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer Messmembran angeordneten Analyseheizelement zum Erwärmen des Analysefluids, mit einem auf einer Referenzmembran angeordneten Referenzheizelement zum Erwärmen mindestens eines Referenzgases, wobei die Messmembran und die Referenzmembran zueinander benachbart zwischen einem Sensorsubstrat und einem Kappensubstrat angeordnet sind, wobei die Messmembran in einem Messvolumen und die Referenzmembran in einem Referenzvolumen angeordnet sind, wobei die Messmembran und die Referenzmembran jeweils mindestens eine Beschichtung aufweisen, wobei die Messmembran durch mindestens eine Aussparung geöffnet ist. Des Weiteren ist ein Verfahren zum Herstellen eines Sensors offenbart.
A sensor for measuring a concentration of an analysis fluid based on a thermal conductivity principle. The sensor includes at least one analysis heating element, situated on a measuring diaphragm, for heating the analysis fluid, and a reference heating element, situated on a reference diaphragm, for heating at least one reference gas. The measuring diaphragm and the reference diaphragm are adjacently situated between a sensor substrate and a cap substrate. The measuring diaphragm is situated in a measuring volume and the reference diaphragm is situated in a reference volume. The measuring diaphragm and the reference diaphragm each include at least one coating. The measuring diaphragm is opened by at least one clearance. A method for manufacturing a sensor is also described.
Sensor mit verstärkter Membran zur Konzentrationsmessung eines Analysefluids
2021-04-22
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
IPC: | G01N Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften , INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / H01M Verfahren oder Mittel, z.B. Batterien, für die direkte Umwandlung von chemischer in elektrische Energie , PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY |
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