Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Diese umfasst eine Hebeeinrichtung für einen Anlagenteil oder ein Anlagenmodul, welche seitlich neben oder unter dem Anlagenteil oder dem Anlagenmodul angebracht ist.
Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen sowie Hebeeinrichtung
03.05.2018
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / B66F HOISTING, LIFTING, HAULING, OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD , Hub-, Verhol- oder Schubvorrichtungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Vorrichtungen mit unmittelbarer Krafteinwirkung auf die Last |
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