Bauteil mit:- einem Beschleunigungssensor (14) mit mindestens einer frei schwingbaren Masse (1,111); und- einem Resonator (12) mit mindestens einer in Resonanz versetzbaren Struktur; wobei die mindestens eine frei schwingbare Masse (1,111) des Beschleunigungssensors (14) und die mindestens eine in Resonanz versetzbare Struktur des Resonators (12) auf und/oder in einem Chip (10,120) angeordnet sind.
A component having an acceleration sensor having at least one freely oscillatory mass, and a resonator having at least one resonating structure, in which the at least one freely oscillatory mass of the acceleration sensor and the at least one resonating structure of the resonator are disposed on and/or in one chip. A corresponding production method for a component is also described.
Bauteil und Herstellungsverfahren für ein Bauteil
2022-04-14
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
IPC: | G01P MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION OR SHOCK , Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes / B60C VEHICLE TYRES , Fahrzeugreifen / B81B Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente , MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES / B81C Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen , PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS |
Mikromechanisches Bauteil, Beleuchtungsvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
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