The invention relates to a device for frictionless and lubricant-free movement in vacuum, wherein the device comprises a positionally fixed rail and a rail that can be moved relative thereto by means of magnetic force. The invention further relates to a vacuum chamber, for example for a coating installation comprising a device according to the invention.
L'invention concerne un dispositif permettant un mouvement sans frottement de glissement et sans lubrifiant, sous vide, le dispositif comprenant un rail fixe et un rail pouvant se déplacer par rapport à ce dernier au moyen d'une force magnétique. L'invention concerne en outre une chambre à vide, par exemple pour une installation de revêtement équipée d'un dispositif selon l'invention.
DEVICE AND VACUUM CHAMBER
DISPOSITIF ET CHAMBRE A VIDE
04.04.2019
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
VACUUM CHAMBER AND PLANT COMPRISING SAID VACUUM CHAMBER
Europäisches Patentamt | 2017
|Bakeout Chamber Within Vacuum Chamber
NTRS | 1995
|Bakeout Chamber Within Vacuum Chamber
Online Contents | 1995