Rauheitsstruktur im Schichtwachstum beruehrungslos messen
Non contact measurements of the roughness structure during layer growth.
Met.-Oberflaeche ; 48 , 10 ; 750-754
1994
5 pages
Met.-Oberflaeche;48(1994)10;750-754
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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