Fertigungsintegrierte Ultrapraezisionsmessung bei der Produktion optischer Komponenten
Machine integrated ultraprecision testing of optical components in the production process.
2004
12 pages
VDI-Ber.; 2004;Sensoren und Messysteme (Tag.Ludwigsburg, Maerz 2004);VDI-Berichte;Nr.;1829
Sonstige
Deutsch
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