Zugriff

    Zugriff prüfen

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Ellipsometric studies of the diffusion of automic oxygen through silicon dioxide thin films


    Autor / Urheber :

    MEYERS, GRANT G., WOOLLAM, JOHN, GULINO, DANIEL A., DE, BHOLA N., MEMARZADEH, KAZEM, JULIANTO, AGUS


    Beteiligte:
    MEYERS, GRANT G. (Autor:in) / WOOLLAM, JOHN (Autor:in) / GULINO, DANIEL A. (Autor:in) / DE, BHOLA N. (Autor:in) / MEMARZADEH, KAZEM (Autor:in) / JULIANTO, AGUS (Autor:in)

    Erschienen in:

    AIAA JOURNAL ; 28 , 6 ; 1065-1066


    Erscheinungsdatum :

    1990-01-01


    Format / Umfang :

    2 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Ellipsometric studies of the diffusion of automic oxygen through silicon dioxide thin films

    Meyers, Grant G. / Woollam, John / Gulino, Daniel A. et al. | NTRS | 1990



    Ellipsometric measurements for thin-film-based sensor systems [2509-10]

    Chitaree, R. / Murphy, V. / Weir, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995



    Micro-ellipsometric true topography

    Liu, Y. A. / See, C. W. / Somekh, M. G. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996