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    Titel :

    Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen


    Beteiligte:


    Ausgabe :

    1. Aufl.


    Erscheinungsdatum :

    2014


    Format / Umfang :

    174 S.


    Anmerkungen:

    210 mm x 148 mm, 261 g
    Langzeitarchivierung durch Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden



    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 58.99 Chemische Technik: Sonstiges / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher
    DDC:    681.76
    RVK:    ZL 7660



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    Draugelate, Ulrich / Bouaifi, Belkacem / Ouaissa, Brahim | IuD Bahn | 2000