Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen
1. Aufl.
2014
174 S.
210 mm x 148 mm, 261 g
Langzeitarchivierung durch Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden
Hochschulschrift
Deutsch
Oberflachenmodifizierung mit Barrierenentladungen bei Atmospharendruck
British Library Conference Proceedings | 1999
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