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    Titel :

    Abschlussbericht des Teilprojektes "Modulare Präzisionsantriebe für MEMS und Laseranlagen" : Laufzeit: 01.04.2002 - 31.03.2005




    Erscheinungsdatum :

    2005


    Anmerkungen:

    Förderkennzeichen BMBF 16SV1548


    Medientyp :

    Aufsatz/Kapitel (Buch)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    BKL:    52.20 Antriebstechnik, Getriebelehre / 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie