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    Titel :

    Gasphasenabscheidung kristalliner Silizium-Schichten auf Keramiksubstraten mit Normaldruck-CVD


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1999


    Format / Umfang :

    97 S


    Anmerkungen:

    21 cm
    Ill., graph. Darst



    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 52.78 Oberflächentechnik, Wärmebehandlung / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher