Abschlußbericht des Verbundprojektes "Advanced interconnect technology" (ADIT) : Beitrag der Siemens AG, München, Bereich Halbleiter und Zentralabteilung Technik ; [Abschlußdatum des Vorhabens: 30.06.1997]
Final report of the project "Advanced interconnect technology" (ADIT)
1997
64 Bl
graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 01 M 2933 C/9. - 52500026
Zsfassung in engl. Sprache u.d.T.: Final report of the project "Advanced interconnect technology" (ADIT)
Report
Deutsch