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    Titel :

    Abscheidung dünner Isolationsschichten aus der Gasphase




    Erscheinungsdatum :

    1976


    Format / Umfang :

    88 S


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Literaturverz. S. 66 - 67


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch