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    Titel :

    Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren


    Weitere Titelangaben:

    Development, optimization and test of electrostatic micromotors made by the LIGA process


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1992


    Format / Umfang :

    83 S


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch


    Klassifikation :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 53.33 Elektrische Maschinen und Antriebe