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    Titel :

    Optical/laser microlithography IV : 6 - 8 March 1991 San Jose, California



    Kongress:

    SPIE Conference on Optical/Laser Microlithography ; 4 ; 1991 ; San Jose, Calif. SPIE Conference on Optical/Laser Microlithography ; 4 (San Jose, Calif.) : 1991.03.06-08


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1991


    Format / Umfang :

    XII, 754 S


    Anmerkungen:

    28 cm
    Ill., graph. Darst
    Literaturangaben



    Medientyp :

    Konferenzband


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    DDC:    621.36/6