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    Titel :

    Beam deflection and scanning technologies : 25 February - 1 March 1991, San Jose, California



    Kongress:

    Conference on Beam Deflection and Scanning Technologies ; 1991 ; San Jose/Calif. Conference on Beam Deflection and Scanning Technologies (San Jose/Calif.) : 1991.02.25-03.01
    Electronic Imaging Science and Technology Symposium ; 1991 ; San Jose/Calif.
    Electronic Imaging Science and Technology Symposium (San Jose/Calif.) : 1991.02.25-03.01


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1991


    Format / Umfang :

    XI, 465 S


    Anmerkungen:

    graph. Darst
    Includes bibliographical references and index
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Medientyp :

    Konferenzband


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :





    Optical/laser microlithography IV : 6 - 8 March 1991 San Jose, California

    Conference on Optical, Laser Microlithography / Society of Photo-optical Instrumentation Engineers | TIBKAT | 1991