Chemische Charakterisierung und Echtzeitüberwachung des Prozessplasmas zur Herstellung von passivierenden Schichtsystemen mittels spektroskopischem Plasmamonitoring : im Verbundprojekt SIMPLEX "Simulation - Plasma - Analytik - Experiment: Hochheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen" : zur Förderbekanntmachung F&E für Photovoltaik vom 8. Mai 2013 : Schlussbericht zum Teilvorhaben : Förderprojekt SIMPLEX$HPLASUS GmbH ; Teilvorhabenleiter: Dr. Thomas Schütte, PLASUS GmbH
SIMPLEX "Simulation - Plasma - Analytik - Experiment: Hochheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen"
2018
1 Online-Ressource (25 Seiten, 2,08 MB)
Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMWi 032574B. - Verbund-Nummer 01154817
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Report
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Deutsch