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    Titel :

    Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application


    Beteiligte:
    Girault, P. (Autor:in) / Azuelos, P. (Autor:in) / Lorrain, N. (Autor:in) / Poffo, L. (Autor:in) / Lemaitre, J. (Autor:in) / Pirasteh, P. (Autor:in) / Hardy, I. (Autor:in) / Thual, M. (Autor:in) / Guendouz, M. (Autor:in) / Charrier, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Optical materials ; 72 ; 596-601


    Erscheinungsdatum :

    2017-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    535



    Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application

    Girault, P. / Azuelos, P. / Lorrain, N. et al. | British Library Online Contents | 2017



    Membrane photolithography

    Yee, C.K. / Amweg, M.L. / Sapuri, A.R. et al. | IEEE | 2004


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    Ang, Thomas Y. L / Lim, Soon Thor / Lee, Shuh Ying et al. | IEEE | 2008


    Photolithography at 193nm

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1996