Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Micro molding for double-sided micro structuring of SU-8 resist


    Beteiligte:
    Oerke, A. (Autor:in) / Büttgenbach, S. (Autor:in) / Dietzel, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 4/5 ; 593-598


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Micro structuring of borosilicate glass by high-temperature micro-forming

    Schubert, A. / Edelmann, J. / Burkhardt, T. | British Library Online Contents | 2006


    Wear-resist Electrodes for Micro-EDM

    Yuangang, W. / Fuling, Z. / Jin, W. | British Library Online Contents | 2009


    Fabrication of micro-parts by high aspect ratio structuring and metal injection molding using the supercritical debinding method

    Shimizu, T. / Murakoshi, Y. / Sano, T. et al. | British Library Online Contents | 1998


    Fabrication of micro gear by micro powder injection molding

    Loh, N. H. / Tor, S. B. / Tay, B. Y. et al. | British Library Online Contents | 2008