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    Titel :

    Design and simulation of a high-performance Z-axis SOI-MEMS accelerometer


    Beteiligte:
    Sharaf, A. (Autor:in) / Sedky, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 8 ; 1153-1163


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Low-g, dual-axis MEMS accelerometer

    British Library Online Contents | 1998


    Design of an SOI-MEMS high resolution capacitive type single axis accelerometer

    Mistry, K. K. / Swamy, K. B. / Sen, S. | British Library Online Contents | 2010


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    Ravi Sankar, A. / Das, S. / Lahiri, S. K. | British Library Online Contents | 2009


    A low-noise three-axis piezoelectric MEMS accelerometer for condition monitoring

    Gong, Xuewen / Wu, Wen-Jong / Liao, Wei-Hsin | British Library Conference Proceedings | 2020